NEMS

J sistèm nànuelètromecànic u NEMS (da l'ingléś nanoelectromechanical systems e da l' itagliàn nanosistemi elettromeccanici) egl' în chi dispuśitîv ch' i mètn insèm el funsionalitè elètrichi e mecànichi in dal dimensiòun edla nànuschèla. I NEMS i sègnen al mumèint piò in avànti edla lôgica dla miniaturiśasiòun di sistèm mìcruelètromecànic, dìt anca dispuśitîv MEMS, e, in generèl, i mèt'n insèm la nànueletrònica di sìmil-transìstor ai atuatôr mecànic, pòumpi u mutôr, psènd, in cla manéra chè, furmèr dj sensôr fìśic, biulògic e chìmic. Al nòm al deśvîn dal dimensiòun dal dispuśitîv, intòrn al nanòmeter. I vìnen anca druè tra l' èter, cùma aseleròmeter u riveladôr ed sustànsi chìmichi mis'cèdi in dl' ària.

• In dal 2000, i prìm dispuśitîv NEMS ed Very Large Scale Integration (VLSI) egl' în estē dimostrē dai sièinsié 'dl'IBM. El premèsi i éren dal pùnti d'AFM ch' i pôlen scaldèr/sundèr un substrēt defurmàbil in manéra da funsionèr cùma 'n dispuśitîv ed memôria.
• In dal 2007, la International Technical Roadmap for Semiconductors (ITRS) la mèt 'na NEMS Memory cùma 'na vôś nòva in dla sesiòun di "dispusitîv d' arsérca piò nōv" (Emerging Research Devices).

'N' importànt aplicasiòun di NEMS l' è quèla dal pùnti dal micruscòpi a fôrsa atômica, u AFM.